精密鏡面磨削技術的發展
發布時間:2016-08-11
近年來,國外對精密磨削和精密研磨技術的研究開發獲得了不少成果和進展。日本國家理化學研究所的大森整教授研制成功了在線修整砂輪的ELID鏡面磨削新工藝,可以對多種不同材料(如鋼、硬質合金、陶瓷、光學玻璃、硅片等)零件的平面、外圓和內孔進行鏡面磨削。ELID鏡面磨削使用特制的鐵基結合劑細粒度金剛石(或CBN)砂輪,在磨削時在線對砂輪進行電解修整,電解修整砂輪用的電解液同時用作磨削液(要求這種電解液不腐蝕機床)。用ELID鏡面磨削新工藝磨出的不同試件(光學玻璃平面、硅片平面和陶瓷內孔)的磨削表面粗糙度可以達到鏡面水平(Ra=0.02~0.01μm)。ELID精密鏡面磨削工藝具有極好的生產應用前景。現在我國哈爾濱工業大學已研究并掌握了這項精密磨削新工藝。