用SPM探針直接對(duì)試件進(jìn)行雕刻加工
發(fā)布時(shí)間：2016-08-30
原子力顯微鏡（AFM）的探針尖一般是用高硬度材料（如金剛石或Si3N4材料）制成，因此可以用探針尖對(duì)試件表面直接進(jìn)行刻劃加工，令針尖按微結(jié)構(gòu)要求的形狀尺寸進(jìn)行掃描，通過準(zhǔn)確控制針尖的的作用力來控制刻劃深度，即可獲得具有精確形狀要求的微小圖形結(jié)構(gòu)。AFM還可以進(jìn)行精確的在線測(cè)量，以保證刻劃加工件的精度。
