金剛石刀具超精密切削技術(shù)是超精密加工技術(shù)的一個(gè)重要組成部份，不少國(guó)防尖端產(chǎn)品零件（如陀螺儀、各種平面及曲面反射鏡和透鏡、精密儀器儀表和大功率激光系統(tǒng)中的多種零件等）都需要利用金剛石超精密切削來加工。
使用單晶金剛石刀具在超精密機(jī)床上進(jìn)行超精密切削，可以加工出光潔度極高的鏡面。超精密切削的切削厚度可極小，最小切削厚度可至1nm。超精密切削使用的單晶金剛石刀具要求刃口極為鋒銳，刃口半徑在0.5～0.01μm。因刃口半徑甚小，過去對(duì)刃口的測(cè)量極為困難，現(xiàn)在已可用原子力顯微鏡（AFM）方便地進(jìn)行測(cè)量。
