我國CVD技術的發展
發布時間:2016-11-23
我國從二十世紀七十年代初開始研究CVD涂層技術,由于該項技術專用性較強,國內從事研究的單位并不多。八十年代中期,我國CVD刀具涂層技術的開發達到實用化水平,工藝技術水平與當時的國際水平相當,但在隨后的十多年里發展較為緩慢(與國外研究狀況類似);九十年代末期,我國開始MT-CVD技術的研發工作,MT-CVD工藝及裝備的研究開發預計可在2001年內基本完成,根據研究目標,工藝技術及設備將達到當前國際先進水平;我國PCVD技術的研究始于九十年代初,PCVD工藝技術主要用于模具涂層,目前在切削刀具領域的應用還十分有限。總體而言,國內CVD技術的總體發展水平與國際水平差距不大,待MT-CVD技術開發成功,我國在刀具CVD涂層領域的整體水平將可與國際先進水平基本保持同步。